اصل عملیاتی:
پراکندگی مگنترون یک فناوری رسوب بخار فیزیکی است که از یک میدان مغناطیسی برای محدود کردن و تقویت پلاسما تخلیه درخشش استفاده می کند و از این طریق مواد هدف را به طور مؤثر لکه دار می کند و فیلم های نازک را روی بسترها می گذارد.
برنامه ها:
این ماده به طور گسترده در لوازم خانگی ، ساعت ها ، سرهای گلف ، هنر و صنایع دستی ، اسباب بازی ها ، بازتابنده های نور ماشین ، پوسته های دکمه تلفن همراه ، سازها و متر ، پلاستیک ، شیشه ، سرامیک ، کاشی و سایر پوشش های تزئینی سطح و پوشش های عملکردی برای ابزار و قالب استفاده می شود.
این مزیت در زمینه های آبکاری فیلم فوق العاده سیاه ، فیلم تزئینی طلای خالص و غیره دارد.















ویژگی ها:
ضخامت فیلم قابل کنترل و قابل تکرار است.
با اطمینان می تواند فیلمی با ضخامت از پیش تعیین شده را سپرد ، و پوشش پراکنده می تواند ضخامت یکنواخت فیلم را در یک سطح بزرگ بدست آورد.
این فیلم چسبندگی شدیدی به بستر دارد.
برخی از اتم های پراکنده با انرژی بالا درجه های مختلفی از تزریق را تولید می کنند و یک لایه شبه دیفوژن را روی بستر تشکیل می دهند که در آن اتم های پاشیده شده و اتم های بستر با یکدیگر فیوز می شوند.
تهیه فیلم های نازک از مواد خاص.
فیلم های مختلط و فیلم های مرکب را می توان با لکه دار کردن مواد مختلف به طور همزمان تهیه کرد. فیلم های طلای تقلید قلع نیز می توانند پراکنده شوند.
این فیلم دارای خلوص بالایی است و فیلم پراکنده با اجزای ماده بخاری قابل Crucible مخلوط نمی شود.
مجهز به منبع کمکی یون با دمای پایین ، می تواند فیلم هایی را با آبکاری سرد در دمای اتاق بدون گرمایش ، صرفه جویی در مصرف انرژی و برق و بهبود ظرفیت تولید تشکیل دهد.
مشخصات:
|
تجهیزات لکه دار مگنترون |
|||||||
|
مدل |
CJ-600 |
CJ-800 |
CJ-1000 |
CJ-1200 |
CJ-1400 |
CJ-1500 |
CJ-1600 |
|
اندازه محفظه |
φ600 × 800 میلی متر |
φ800 × 1000 میلی متر |
φ1000 × 1200 میلی متر |
φ1200 × 1400 میلی متر |
φ1400 × 1600mm |
φ1500 × 1500mm |
φ1600 × 1800mm |
|
واحد خلاء |
واحد پمپ انتشار KT400 |
واحد پمپ انتشار KT500 |
واحد پمپ انتشار KT800 |
واحد پمپ انتشار KT630 |
واحد پمپ انتشار KT630 Double |
واحد پمپ انتشار KT630 Double |
واحد پمپ انتشار KT630 Double |
|
سیستم روکش |
منبع تغذیه DC یا فرکانس متوسط ، پوشش منبع تغذیه ویژه یون کمکی |
||||||
|
سیستم تورم |
جریان جرم |
||||||
|
روش کنترل |
دستی یا کاملاً اتوماتیک |
||||||
|
خلاء نهایی |
5x10-3PA |
||||||
|
اظهار |
پارامترهای تجهیزات فوق فقط برای مرجع است و مطابق با الزامات فرآیند واقعی مشتریان طراحی و سفارشی می شوند. |
||||||
تگ های محبوب: تجهیزات پاشش مگنترون ، تولید کنندگان تجهیزات پراکنده مگنترون چین ، تهیه کنندگان ، کارخانه
