دستگاه پوشش دهی مگنترون

در داخل یک محفظه خلاء، یک میدان مغناطیسی برای محدود کردن تخلیه درخشان استفاده می‌شود، که باعث می‌شود یون‌های آرگون مواد مورد نظر را با سرعت بالا بمباران کنند، اتم‌های هدف پراکنده می‌شوند و روی سطح قطعه کار قرار می‌گیرند تا یک لایه نازک متراکم تشکیل دهند{0}}فرایندی که به عنوان رسوب بخار فیزیکی (PVD) طبقه‌بندی می‌شود.

ویژگی های تجهیزات

سازگار با انواع مختلف اهداف کندوپاش
از اهداف کندوپاش مگنترون DC، MF و RF پشتیبانی می کند، هم اهداف سرامیکی فلزی و هم اکسیدی را در خود جای می دهد و امکان رسوب فیلم های دی الکتریک فلزی و عایق را فراهم می کند.

چرخش بستر و مکانیسم چرخش
قفسه قطعه کار از یک سیستم چرخش سیاره ای استفاده می کند، که قطعات کار را در داخل کوره قادر می سازد به طور همزمان بچرخند و بچرخند، این یکنواختی ضخامت فیلم را در کل بار کوره تضمین می کند و تنوع رنگ را به حداقل می رساند.

سیستم تصفیه قبل از-یون با دمای پایین-
این سیستم مجهز به منبع تمیزکننده یونی داخلی-، سطح قطعه کار را قبل از پوشش دهی با پلاسما بمباران می‌کند تا آلاینده‌های روغن و لایه‌های اکسید را حذف کند. رسوب فیلم در دمای پایین را با حداقل گرمایش زیرلایه امکان پذیر می کند و برای پردازش پلاستیک های حساس به گرما مانند ABS و PC بدون ایجاد سوختگی یا تغییر شکل مناسب است.

پیکربندی واحد خلاء مستقل
ترکیبی از یک پمپ توربومولکولی، یک پمپ Roots و یک پمپ پره ای دوار که منحنی پمپاژ پایدار را تضمین می کند.

سیستم کنترل صنعتی PLC تمام اتوماتیک
اتوماسیون فرآیند، دستور العمل های فرآیند را می توان با یک کلیک ذخیره و فراخوانی کرد.

کنترل دقیق جریان گاز
از چندین کنترل کننده جریان جرم (MFCs) برای تنظیم دقیق گازهای واکنش پذیر مانند آرگون، اکسیژن و نیتروژن استفاده می کند که آن را برای رسوب کندوپاش واکنشی فیلم های کامپوزیت اکسید و نیترید مناسب می کند.

محافظ ایمنی اینترلاک
شامل اینترلاک برای درب محفظه و سیستم خلاء، و همچنین محافظت در برابر اضافه بار، کمبود آب، و قطع برق، خاموش شدن خودکار پس از شناسایی ناهنجاری ها برای محافظت از منبع هدف و سیستم خلاء.

پوشش تزئینی
جعبه‌های ساعت، لوازم حمام، سر چوب گلف، صنایع دستی، اسباب‌بازی‌ها، بازتاب‌دهنده چراغ‌های جلو خودرو، بدنه و دکمه‌های تلفن همراه یا لوازم خانگی. با قابلیت تولید روکش‌های تزئینی طلایی، مشکی، فوق-مشکی و رنگی، به عنوان یک-دوستانه محیط زیست و بدون آلودگی{3}}جایگزین آبکاری سنتی- بر پایه آب است.

بسترهای سازگار: پلاستیک ABS، شیشه، سرامیک، کاشی و فلزات مختلف.

 

فیلم های کاربردی
قالب و ابزار: پوشیدن{0}روکش های محافظ مقاوم برای ابزارهای برش و قالب ها/ قالب ها

ضخامت فیلم قابل کنترل و تکرار است.

این می تواند به طور قابل اعتماد یک فیلم با ضخامت از پیش تعیین شده را رسوب دهد و پوشش کندوپاش می تواند یک ضخامت فیلم یکنواخت را روی یک سطح بزرگ به دست آورد.

این فیلم چسبندگی قوی به بستر دارد.

برخی از اتم‌های پرانرژی پرانرژی درجات مختلفی از تزریق تولید می‌کنند و یک لایه انتشار شبه{{1} بر روی بستر تشکیل می‌دهند که در آن اتم‌های پراکنده شده و اتم‌های زیرلایه با یکدیگر ترکیب می‌شوند.

تهیه لایه های نازک از مواد خاص.

فیلم های مخلوط و فیلم های مرکب را می توان با کندوپاش کردن مواد مختلف به طور همزمان تهیه کرد. فیلم‌های طلای تقلیدی قلع نیز می‌توانند پاشیده شوند.

این فیلم دارای خلوص بالایی است و فیلم پراکنده شده با اجزای ماده گرم کننده بوته مخلوط نمی شود.

مجهز به منبع کمکی یونی با دمای پایین-، می‌تواند با آبکاری سرد در دمای اتاق بدون گرم کردن، لایه‌هایی را تشکیل دهد، در انرژی و برق صرفه‌جویی کند و ظرفیت تولید را بهبود بخشد.