تبخیر پرتو الکترونی عبارت است از قرار دادن مواد فیلم در یک بوته مسی{0}}سرد شده با آب و استفاده مستقیم از گرمایش پرتو الکترونی برای تبخیر کردن اتم‌ها یا مولکول‌های موجود در ماده فیلم و فرار از سطح، سپس وارد سطح زیرلایه و متراکم شدن به یک لایه می‌شود.
تبخیر پرتو الکترونی دارای راندمان حرارتی بالاتر، چگالی جریان پرتو بالاتر، سرعت تبخیر سریعتر و خلوص بالاتر فیلم نسبت به تبخیر حرارتی با مقاومت عمومی است.
برنامه های کاربردی:
تجهیزات پوشش خلاء تبخیر پرتو الکترونی می‌توانند انواع سیستم‌های فیلم را با تعداد زیادی لایه، مانند-گذر موج کوتاه،-گذر موج بلند، ضد-فیلم بازتابی، فیلم بازتابی، فیلم فیلتر، فیلم طیف‌سنجی، فیلم گذر باند، فیلم دی‌الکتریک، فیلم بازتابی، فیلم بازتابی، بالا{3} پوشش دهد.
این می تواند به پوشش فیلم از 0-50 لایه فیلم دست یابد و همچنین می تواند الزامات پوشش محصولاتی مانند شیشه بازتابنده خودرو، عینک، لنزهای نوری، فنجان های نور سرد و غیره را برآورده کند.
این می‌تواند انواع سیستم‌های فیلم را با منابع تبخیر مختلف، تفنگ‌های الکترونی، منابع یونی و ضخامت‌سنج‌های فیلم بپوشاند و می‌تواند فلزات، اکسیدها، ترکیبات و سایر مواد فیلم با نقطه ذوب{{1} بالا را تبخیر کند.
ویژگی ها:
دستگاه پوشش نوری مجهز به ضخامت سنج فیلم کریستال کوارتز است و سیستم PLC و صفحه نمایش لمسی برای تحقق کنترل خودکار کل فرآیند کار با راندمان کاری عالی و تکرار کیفیت محصول ترکیب می شوند.
مناسب برای استفاده توسط تولید کنندگان در زمینه نوری و نیازمندی های تولید صنعتی در مقیاس بزرگ-.
مشخصات:
| دستگاه پوشش نوری | |||||||
|
مدل |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
اندازه اتاقک |
800×1000 میلی متر |
Φ1200×1400 میلی متر |
Φ1400×1600 میلی متر |
Φ1600×1800 میلی متر |
Φ1000×1100 میلی متر |
Φ1200×1400 میلی متر |
Φ1600×1800 میلی متر |
|
واحد خلاء |
واحد پمپ انتشار KT500 |
واحد پمپ انتشار KT630 |
واحد پمپ انتشار دوبل KT630 |
واحد پمپ انتشار دوبل KT630 |
واحد پمپ انتشار KT500 |
واحد پمپ انتشار KT630 |
واحد پمپ انتشار دوبل KT630 |
|
سیستم پوشش |
منبع تبخیر تفنگ الکترونی، منبع تغذیه اختصاصی یون کمکی پوشش یا منبع یون هال |
||||||
|
سیستم تورم |
کنترل کننده فشار |
||||||
|
روش کنترل |
دستی یا تمام اتوماتیک |
||||||
|
سیستم نظارت بر ضخامت فیلم |
سیستم نظارت بر ضخامت فیلم کریستال کوارتز |
||||||
|
میزان پمپاژ |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
خلاء نهایی |
3.0X10-4Pa |
||||||
|
تذکر دهید |
پارامترهای تجهیزات فوق فقط برای مرجع هستند و با توجه به نیازهای فرآیند واقعی مشتریان طراحی و سفارشی می شوند. |
||||||
تگ های محبوب: تجهیزات پوشش خلاء تبخیر پرتو الکترونی، تولید کنندگان تجهیزات پوشش خلاء تبخیر پرتو الکترون چین، تامین کنندگان، کارخانه
