اصل کار دستگاه پوشش چند قوس

دستگاه پوشش چند قوس از طریق منابع قوس چندگانه (4-16) پلاسما با درجه حرارت بالا تولید می کند ، مواد فلزی را تبخیر می کند و آن را بر روی سطح بستر برای دستیابی به پوشش کارآمد (یکنواختی ضخامت فیلم ± 5 ٪) رسوب می کند. محفظه خلاء اصلی آن به یک محفظه پوشش (درجه خلاء کمتر از یا مساوی با 10^-3PA) و یک محفظه پیش درمانی تقسیم می شود. اولی یک محیط با امنیت کم را تضمین می کند ، و دومی برای تمیز کردن بستر و پولیش برای بهبود چسبندگی استفاده می شود. پارامترهای فرآیند کلیدی شامل قدرت منبع قوس (20-200A) ، دمای بستر (100-300 درجه) و میزان رسوب (1-10 نانومتر در ثانیه) است که باید به صورت پویا با توجه به شکل بستر (مانند سطوح خمیده پیچیده) و مواد (فلز/سرامیک) تنظیم شوند. این مناسب برای صحنه هایی مانند فیلم ضد انعکاس لنز نوری و پوشش سخت است.