ابتدا باید توضیح دهیم که آلودگی محفظه خلاء اساساً شامل ناخالصیهای مختلف (بخار آب، هیدروکربنها، گرد و غبار، گریس و غیره) است که به دیوارههای محفظه یا سطوح اجزای داخلی میچسبند و منابع گاز و بخار را تشکیل میدهند که تعادل محیط خلاء را مختل میکنند. این آلاینده ها از طیف گسترده ای از منابع، از جمله مایع برش باقی مانده و روان کننده حاصل از پردازش قطعه کار، عرق دست در حین کار، گرد و غبار موجود در هوا و حتی ناخالصی های ناچیز وارد شده توسط پمپ خلاء یا مواد فرار از مواد یا بستر مورد نظر می آیند. صرف نظر از نوع آلودگی، استراتژی بازیابی اصلی "حذف دقیق ناخالصی ها بدون آسیب رساندن به مواد محفظه و بازگرداندن محیط خلاء" است. انواع مختلف آلودگی به روش های بازیابی متفاوتی نیاز دارند.
روش 1: گرم کردن تا "تبخیر" ناخالصی ها - روش تمیز کردن با گرمایش خلاء این ابتدایی ترین و متداول ترین روش بازیابی است. اصل کار بسیار ساده است: مانند خشک کردن لباس ها با لکه های آب، گرما باعث می شود ناخالصی های فرار (مانند بخار آب و هیدروکربن های ملایم) روی سطح حفره تبخیر شوند و سپس توسط پمپ خلاء پاک می شوند و به این ترتیب تمیز می شوند.
روش 2: "تجزیه" آلاینده ها با اشعه ماوراء بنفش - روش تمیز کردن با اشعه ماوراء بنفش. اگر آلودگی حفره عمدتاً از هیدروکربن ها (مانند روغن روان کننده باقیمانده و آلاینده های آلی) تشکیل شده باشد، روش تمیز کردن پرتو فرابنفش کارآمدتر خواهد بود. علاوه بر این، بدون تماس و غیر{5}}در طول فرآیند است، و به ویژه برای سناریوهایی با نیاز به مواد بسیار بالا، مانند حفره های نوری دقیق و حفره های خلاء نیمه هادی، مناسب است.
روش 3: یون "بمباران" ضد آلودگی - روش تمیز کردن تخلیه. برای حفرههای با خلاء بالا و{3}}فوق العاده بالا (مانند تجهیزات پوشش خلاء و حفرههای کاشت یون نیمهرسانا)، آلودگی اغلب سرسختتر است، بهویژه کربن و هیدروکربنهای روی سطح حفرههای فولاد ضدزنگ، که با روشهای معمولی حذف آنها دشوار است. در این حالت به روش تمیز کردن تخلیه نیاز است که روش اصلی برای ترمیم عمیق حفره های خلاء نیز می باشد.
روش 4: دفع ناخالصی ها با گاز - روش شستشو با گاز اگر حفره فقط اندکی آلوده باشد، یا اگر نیاز به بازیابی سریع و کوتاه شدن زمان تخلیه باشد، شستشو با گاز بهترین انتخاب است. این به دو دسته شستشوی نیتروژن و شستشوی گاز واکنشی تقسیم می شود که برای سناریوهای مختلف مناسب هستند.
باید روی محافظت از آلودگی بعد از{0} تاکید شود: پس از بازسازی، حفره باید دور از روغن و گرد و غبار نگهداری شود. اقدامات حفاظتی باید در حین کار انجام شود و پمپ خلاء باید به طور مرتب نگهداری شود تا احتمال آلودگی مجدد کاهش یابد. این امر به ویژه در زمینه هایی با نیازهای تمیزی بسیار بالا، مانند نیمه هادی ها و هوافضا، که تمیزی حفره مستقیماً طول عمر و عملکرد محصول را تعیین می کند، مهم است. تمیزی حفره خلاء "راه نجات" فرآیندهای خلاء{4}بالا است. در واقع با تسلط بر این چهار روش ترمیم هسته و انتخاب انعطاف پذیر روش مناسب بر اساس میزان آلودگی و مواد حفره می توان مشکلات آلودگی حفره را به راحتی حل کرد و عملکرد پایدار سیستم خلاء را تضمین کرد. با توسعه صنعت ساخت دقیق، فناوری تمیز کردن جاروبرقی نیز به طور مداوم در حال ارتقا است، از تمیز کردن گرمایش سنتی تا تخلیه سازگار با محیط زیست و کارآمد و تمیز کردن پلاسما. روشهای بیشتر و بیشتری از تمیزی حفرههای خلاء محافظت میکنند و از تولیدات پیشرفته محافظت میکنند.
خوش آمدید از Tiktok ما دیدن کنیدhttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine برای ویدیوهای ماشینی بیشتر، از شما متشکرم.
