(1) بررسی کنید که تمام کلیدهای کنترلی دستگاه پوشش خلاء یونی در موقعیت "خاموش" هستند.
(2) کلید برق اصلی را روشن کنید تا دستگاه پوشش خلاء یونی روشن شود.
(3) شیر فشار کم-را بیرون بکشید. شیر باد را باز کنید؛ بعد از اینکه جریان هوا شنیده نشد، دریچه بالا بردن زنگ-را برای بالا بردن زنگ راه اندازی کنید.
(4) بخاری مارپیچ تنگستن را نصب و تعمیر کنید. فیلم PVDF و صفحه پوشش آلومینیومی را روی دیسک چرخان ثابت کنید. سیم آلومینیومی را به بخاری مارپیچ بکشید. تمام قسمت های داخل زنگ را تمیز کنید تا از عدم وجود ناخالصی یا کثیفی اطمینان حاصل کنید.
(5) زنگ را پایین بیاورید.
(6) پمپ خلاء دستگاه پوشش خلاء یونی را راه اندازی کنید.
(7) برق گیج خلاء کامپوزیت (مدل گیج خلاء مرکب: Fzh-1A) را روشن کنید.
(8) هنگامی که نشانگر در گیج خلاء کم "2" دوباره در جهت عقربه های ساعت به 6.7 Pa حرکت کرد، شیر فشار کم-را فشار دهید.
(9) آب خنک کننده را روشن کنید و پمپ انتشار دستگاه پوشش خلاء یونی را به مدت 40 دقیقه گرم کنید.
(10) شیر فشار کم-را بیرون بکشید. روال عملیات را ⑦ یک بار برای دستگاه پوشش عمودی یک-درب تکرار کنید: دستگیره پایین سمت چپ "1" را به موقعیت اندازه گیری بخش 2 بچرخانید. اشاره گر داخل گیج خلاء کم "2" در جهت عقربه های ساعت حرکت می کند. وقتی نشانگر به 6.7 پاسکال رسید، شیر فشار-بالا را باز کنید.
