رابطه بین فرکانس رادیویی و تخلیه تابشی چیست؟

1. فرکانس رادیویی (RF) - منبع انرژی برای PECVD

به بیان ساده، فرکانس رادیویی (RF) نیروی محرکه PECVD است. تعیین می کند که آیا پلاسما می تواند تولید شود، تولید چقدر قوی است و راندمان رسوب چقدر بالا است.

2. ترشحات درخشان{1}}«بیان» پلاسما

تخلیه درخشان یک پدیده نور مرئی است که به طور طبیعی پس از تحریک پلاسما رخ می دهد.

هنگامی که یک گاز توسط میدان الکتریکی با فرکانس رادیویی به پلاسما یونیزه می شود، الکترون های داخل به طور مداوم بین سطوح انرژی بالا و پایین می پرند. این فرآیند فوتون ها را آزاد می کند. هنگامی که تعداد زیادی فوتون با هم ترکیب می شوند، نوری را که ما از طریق پنجره مشاهده می بینیم تشکیل می دهند که به آن درخشش می گویند.

درخشش نه تزئین است و نه محصول جانبی. به طور مستقیم وضعیت واقعی پلاسما را منعکس می کند.

گازها، پارامترها و شرایط محفظه مختلف باعث تغییر در رنگ، روشنایی و یکنواختی درخشش پلاسما می شود. درخشش پایدار نشان دهنده یک پلاسمای سالم است، در حالی که سوسو زدن یا درخشش غیرعادی نشان دهنده مشکل در تجهیزات یا فرآیند است.

به طور خلاصه، تخلیه درخشش بیان و زبان پلاسما است که مهندسان برای قضاوت در مورد سالم بودن تجهیزات و پایدار بودن فرآیند از آن استفاده می کنند.

درخشش می تواند از رنگ های مختلف باشد.
رنگ درخشش بسته به گاز متفاوت است.

نئون (Ne): نور کلاسیک قرمز-نارنجی (نئون) ساطع می‌کند
آرگون (Ar): یک نور آبی-بنفش ساطع می‌کند.
نیتروژن (N2): نور بنفش مایل به صورتی- ساطع می کند.
اکسیژن (O2): نور زرد یا سفید کم رنگی ساطع می کند.
بخار سدیم (Na): نور زرد بسیار درخشانی از خود ساطع می کند.

2. رابطه بین فرکانس رادیویی و تخلیه درخشش
فرکانس رادیویی و تخلیه تابش دو چیز مستقل نیستند، بلکه یک رابطه علی، یک رابطه همزیستی و یک رابطه نظارتی دارند.

فرکانس رادیویی انرژی می دهد و عامل تشکیل پلاسما است.

ترشحات براق با ظاهر پلاسما همراه است و تظاهر خارجی پلاسما است.

بدون فرکانس رادیویی، پلاسما وجود ندارد و بنابراین هیچ درخششی وجود ندارد.

عدم وجود درخشش پایدار و یکنواخت نشان دهنده انتقال ضعیف انرژی فرکانس رادیویی، توزیع ناهموار میدان الکتریکی و وضعیت غیرعادی محفظه است.

3. ساده ترین خلاصه
فرکانس رادیویی (RF) هسته انرژی PECVD است که مسئول تولید و کنترل پلاسما است.

تخلیه درخشش بیان حالت پلاسما است و مسئول بازتاب پایداری فرآیند است.

اگر فرکانس رادیویی پایدار باشد، تخلیه درخشش پایدار خواهد بود.

تخلیه درخشش پایدار کیفیت فیلم پایدار را تضمین می کند.